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| 題 名 | 超硬奈米複合鍍膜製程及設備發展趨勢與現況=Current Status and Advances in the Process and Equipments of the Superhard Nanocomposite Coatings |
|---|---|
| 作 者 | 卓廷彬; 張凱傑; 馬寧元; 許恭銘; 揚景富; 謝志男; 簡玉珠; | 書刊名 | 臺灣奈米會刊 |
| 卷 期 | 15 2008.12[民97.12] |
| 頁 次 | 頁57-66 |
| 分類號 | 472.16 |
| 關鍵詞 | 超硬奈米複合鍍膜; 晶界滑動; 塑性變形; 磁控濺鍍; 磁控靶源; 電漿輔助化學氣相沉積; Superhard nanocomposite coatings; Grain boundary sliding; Plastic distortion; Magnetron sputtering; Magnetron target; Plasma enhanced chemical vapor deposition; |
| 語 文 | 中文(Chinese) |