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題 名 | 奈米轉印國際發展現況=International Development Status of Nanoimprint Technology |
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作 者 | 吳兆棋; 何侑倫; 陳守仁; 陳來勝; | 書刊名 | 機械工業 |
卷 期 | 279 民95.06 |
頁 次 | 頁29-42 |
專 輯 | 奈米機械技術專輯 |
分類號 | 448.57 |
關鍵詞 | 轉印微影技術; 奈米轉印微影術; 捲式製程; Imprint lithography; IL; Nanoimprint lithography; NIL; Roll-to-roll; |
語 文 | 中文(Chinese) |