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題 名 | 奈米轉印技術發展現況=Introduction of the Nanoimprint Technique Development |
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作 者 | 陳守仁; 巫震華; 何侑倫; 王維漢; 陳來勝; | 書刊名 | 機械工業 |
卷 期 | 267 2005.06[民94.06] |
頁 次 | 頁36-46 |
專 輯 | 奈米機械技術專輯 |
分類號 | 448.57 |
關鍵詞 | 奈米轉印微影術; 奈米製造技術; 奈米圖案; Nanoimprint lithography; NIL; Nano fabrication technique; Nano-pattern; |
語 文 | 中文(Chinese) |