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題名 | 利用藍光雷射微影製作奈米圖形化矽基板及其應用=Fabrication and Application of Nanopatterned Silicon Substrate by Blue Laser Lithography |
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作者 | 鄭宗達; 蔡榮源; 黃俊傑; 陳榮波; 陳順成; 李源欽; | 書刊名 | 臺灣奈米會刊 |
卷期 | 35 2013.11[民102.11] |
頁次 | 頁53-58 |
分類號 | 448.57 |
關鍵詞 | 雷射微影; 奈米圖案化矽基板; 微結構; Laser lithography; Nanopatterned silicon substrate; Microstructure; |
語文 | 中文(Chinese) |