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題 名 | 轉印模仁之奈米結構製作=The Nanostructure Fabrication of Imprinting Mold |
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作 者 | 蘇建彰; 陳建洋; 謝逸凡; 林建宏; 蔡居恕; 賴文郎; 張復瑜; | 書刊名 | 機械工業 |
卷 期 | 269 民94.08 |
頁 次 | 頁44-55 |
專 輯 | 微奈米機械與系統技術專輯 |
分類號 | 448.57 |
關鍵詞 | 奈米轉印微影術; 模仁; 奈米結構; 奈米圖案; 抗沾黏; Nanoimprint lithography; NIL; Mold; Nanostructure; Nanopatterning; Anti-adhesion; |
語 文 | 中文(Chinese) |