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機械工業
269 民94.08
頁44-55
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題名
轉印模仁之奈米結構製作=The Nanostructure Fabrication of Imprinting Mold
作者
蘇建彰
;
陳建洋
;
謝逸凡
;
林建宏
;
蔡居恕
;
賴文郎
;
張復瑜
;
期刊
機械工業
出版日期
20050800
卷期
269 民94.08
頁次
頁44-55
分類號
448.57
語文
chi
關鍵詞
奈米轉印微影術
;
模仁
;
奈米結構
;
奈米圖案
;
抗沾黏
;
Nanoimprint lithography
;
NIL
;
Mold
;
Nanostructure
;
Nanopatterning
;
Anti-adhesion
;
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