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來源資料
機械工業
243 2003.06[民92.06]
頁130-141
電機工程
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電燈之特殊應用
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題名
奈米製造技術的新契機--奈米轉印微影術及其設備發展現況=
作者
林家弘
;
許嘉峻
;
期刊
機械工業
出版日期
200306
卷期
243 2003.06[民92.06]
頁次
頁130-141
分類號
448.59
語文
chi
關鍵詞
奈米轉印微影術
;
奈米製造技術
;
線寬
;
Nanoimprint lithography
;
NIL
;
Nano fabrication technique
;
Linewidth
;
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