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題名 | 奈米轉印製程與設備技術發展現況介紹=Introduction of the Latest Development of Nanoimprint Technique and Equipments |
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作者 | 陳釧鋒; |
期刊 | 機械工業 |
出版日期 | 20040600 |
卷期 | 255 2004.06[民93.06] |
頁次 | 頁151-162 |
分類號 | 448.57 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 奈米轉印微影技術; 熱壓成形奈米轉印微影技術; 步進式快閃轉印微影技術; Nanoimprint lithography; NIL; Hot embossing-Nanoimprint lithography; HE-NIL; Step and Flash imprint lithography; S-FIL; |