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題名 | 奈米轉印微影技術之成品檢測= |
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作者 | 陳明祈; 陳釧鋒; |
期刊 | 機械工業 |
出版日期 | 200306 |
卷期 | 243 2003.06[民92.06] |
頁次 | 頁152-162 |
分類號 | 471.7 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 奈米轉印微影技術; 掃描式電子顯微鏡; 原子力顯微鏡; 成品檢測; Nanoimprint lithography; NIL; Scanning electron microscope; SEM; Atomic force microscope; AFM; The detection of product; |