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題 名 | R.F. Magnetron-Sputter Deposition of Pb(Mg□Nb□)O[feb0] Thin Films=射頻磁控濺鍍沉積Pb(Mg□Nb□)O[feb0]薄膜 |
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作 者 | 李中夏; 吳孟韋; 李英翰; 李后偉; | 書刊名 | 材料科學與工程 |
卷 期 | 34:2 2002.06[民91.06] |
頁 次 | 頁67-72 |
分類號 | 440.34 |
關鍵詞 | PMN薄膜; 磁控濺鍍; 鈣鈦礦晶粒; 介質常數; PMN thin film; RF sputter; Permittivity; Perovskite; Pyrochlore; |
語 文 | 英文(English) |