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來源資料
真空科技
9:2 1996.07[民85.07]
頁34-45
電化學工業
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電化學工業
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題名
電漿化學氣相沉積氮化碳薄膜的微觀結構及機械特性=
作者
何主亮
;
常挽瀾
;
陳育智
;
期刊
真空科技
出版日期
199607
卷期
9:2 1996.07[民85.07]
頁次
頁34-45
分類號
468
語文
chi
關鍵詞
電漿化學氣相沉積
;
氮化碳薄膜
;
頁籤選單縮合
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