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題名 | Characterization and Field Emission Properties of Nano-tip Diamond-like Carbon Films=奈米類鑽尖錐薄膜之特性與場發射性質之研究 |
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作 者 | 林啟瑞; 洪新欽; 周上智; 陳冠彰; | 書刊名 | 材料科學與工程 |
卷期 | 35:2 2003.06[民92.06] |
頁次 | 頁130-134 |
分類號 | 440.34 |
關鍵詞 | 奈米尖錐; 微波電漿化學氣相沉積; 電漿蝕刻; 場發射性質; 類鑽碳膜; Nano-tip; MPCVD; Plasma etching; Field emission properties; Diamond-like carbon film; |
語文 | 英文(English) |