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來源資料
電子月刊
6:4=57 2000.04[民89.04]
頁144-149
電機工程
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電燈廠
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題名
鐵電氧化物材料的電漿蝕刻系統設計=
作者
李鴻志
;
葉瑞鴻
;
Werbaneth,Paul F.
;
期刊
電子月刊
出版日期
200004
卷期
6:4=57 2000.04[民89.04]
頁次
頁144-149
分類號
448.57
語文
chi
關鍵詞
鐵電氧化物
;
電漿蝕刻系統
;
半導體元件
;
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