頁籤選單縮合
題 名 | 控制電漿位置以成長類鑽奈米尖錐=Deposition of Nano Diamond-like Tip by Plasma Position Controlling |
---|---|
作 者 | 林啟瑞; 周上智; 洪新欽; 許庭瑋; | 書刊名 | 材料科學與工程 |
卷 期 | 35:1 2003.03[民92.03] |
頁 次 | 頁31-35 |
分類號 | 440.34 |
關鍵詞 | 電漿鞘; 類鑽碳尖錐; 電位降; 微波電漿化學氣相沉積; Microwave plasma chemical vapor deposition; Plasma sheath; Diamond-like carbontip; Potential drop; |
語 文 | 中文(Chinese) |