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來源資料
機械工業
387 2015.06[民104.06]
頁120-143
電機工程
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電燈;照明電器
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題 名
低溫電漿概論=Introduction to Cold Plasma
作 者
張志振
;
書刊名
機械工業
卷 期
387 2015.06[民104.06]
頁 次
頁120-143
專 輯
光電產業設備技術專輯
分類號
448.5
關鍵詞
低溫電漿
;
電漿鞘層
;
集膚深度
;
Cold plasma
;
Plasma sheath
;
Skin depth
;
語 文
中文(Chinese)
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