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題 名 | 晶圓傳送盒氣態分子汙染物防治與監控=Prevention and Monitoring of Airborne Molecular Contaminations for the Front Opening Unified Pod (FOUP) |
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作 者 | 廖秉彥; 張世毅; 薛人瑋; 胡石政; 林廸; | 書刊名 | 潔淨科技 |
卷 期 | 37 2016.10[民105.10] |
頁 次 | 頁7-13 |
分類號 | 445.92 |
關鍵詞 | 氣態分子汙染物; 晶圓傳送盒; 離子泳動圖譜; 光腔衰盪光譜; 光離子化偵測器; Airborne molecular contamination; FOUP; IMS; CRDS; PID; |
語 文 | 中文(Chinese) |