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| 題 名 | 300mm晶圓傳送盒(FOUP)開門之氣流及粒狀污染物動態分析=Dynamic Analysis on Airflow and Particulate Contaminant during the Door Opening Period of the Front Opening Unified Pod for 300 mm Wafer Loading/Unloading Processes |
|---|---|
| 作 者 | 胡石政; 黃俊文; | 書刊名 | 潔淨科技 |
| 卷 期 | 7 民93.08 |
| 頁 次 | 頁37-46 |
| 分類號 | 448.57 |
| 關鍵詞 | 晶圓傳送盒; 氣狀污染物; 動態模擬; Front opening unified pod; FOUP; Airborne particulate contaminants; Dynamic simulation; |
| 語 文 | 中文(Chinese) |