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題 名 | 300mm晶圓傳送盒載卸過程中污染粒子產生源對載出晶圓的動態污染分析=Dynamic Analysis on Particulate Contamination during the Process of Extracting 300mm Wafers from the Front Opening Unified Pod to a Minienvironment |
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作 者 | 黃俊文; 胡石政; 吳宗明; | 書刊名 | 機械工業 |
卷 期 | 258 2004.09[民93.09] |
頁 次 | 頁183-190 |
專 輯 | 光電與半導體設備技術專輯 |
分類號 | 448.57 |
關鍵詞 | 晶圓傳送盒; 氣狀污染物; 計算流體力學; 動態模擬; Front opening unified pod; FOUP; Particulate contamination; Dynamic analysis; Computational fluid dynamics; |
語 文 | 中文(Chinese) |