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來源資料
電子月刊
9:3=92 2003.03[民92.03]
頁175-181
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題 名
引起靜電放電所致電磁干擾的FOUPs傳送之研究
作 者
吳振忠
;
管偉
;
書刊名
電子月刊
卷 期
9:3=92 2003.03[民92.03]
頁 次
頁175-181
專 輯
靜電放電防護技術特輯.1
分類號
448.552
關鍵詞
靜電放電
;
電磁干擾
;
晶圓傳送盒
;
FOUP
;
語 文
中文(Chinese)
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