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題 名 | 300mm晶圓傳送盒氮氣填充最佳化實驗之研究分析 |
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作 者 | 林鴻忠; 胡石政; 吳宗明; | 書刊名 | 機械工程 |
卷 期 | 249 2004.06[民93.06] |
頁 次 | 頁27-34 |
分類號 | 448.57 |
關鍵詞 | 300mm晶圓傳送盒; 氮氣填充; 氣態分子狀污染物; Front opening unified pod; FOUP; Airborne molecular contamination; AMC; Nitrogen purge; |
語 文 | 中文(Chinese) |