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| 題 名 | 新型熱熔膠拋光墊的研製及其對單晶矽之拋光研究=A Study on the Manufacturing of New Hot Melt Adhesive Polishing Pad and Its Effects on Polishing a Mono-crystalline Silicon |
|---|---|
| 作 者 | 蔡松霖; 顏炳華; | 書刊名 | 機械工業 |
| 卷 期 | 348 2012.03[民101.03] |
| 頁 次 | 頁123-132 |
| 專 輯 | 工具機技術專輯 |
| 分類號 | 446.895 |
| 關鍵詞 | 熱熔膠拋光墊; 單晶矽; 表面粗糙度; Hot melt adhesive pad; Mono-crystalline silicon; Surface roughness; |
| 語 文 | 中文(Chinese) |