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題 名 | 探針尖端曲率半徑對測量粗糙表面之影響=The Effect of the Curvature of Stylus Tip on Measuring Rough Surfaces |
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作 者 | 吳俊仲; | 書刊名 | 華岡工程學報 |
卷 期 | 12 1998.05[民87.05] |
頁 次 | 頁63-80 |
分類號 | 448.552 |
關鍵詞 | 探針; 表面粗糙度; 頻譜; Stylus; Surface roughness; Spectral density; |
語 文 | 中文(Chinese) |
英文摘要 | 本研究假設一般粗糙表面,研究探針尖端曲率半徑對測量此表面的影響。從幾何 以及頻譜等方面來看表面粗糙度的問題,分析探針測得出的表面的粗糙度與真實表面粗糙度 的差別。結果發現,探針測量的精確度與 auto-correlation function 有很密切的關係。 surface. It is found that the accuracy of measurement strongly depends on the auto-correlation function. |
本系統中英文摘要資訊取自各篇刊載內容。