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題 名 | Analysis of Stylus Tip Geometry with Contact Stylus Instrument=接觸式量測之探針形狀分析 |
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作 者 | 陳炤彰; 卓君翰; 劉惠中; 陳彥良; 李瓊武; 李世榮; | 書刊名 | 中國機械工程學刊 |
卷 期 | 25:5 民93.10 |
頁 次 | 頁423-429 |
分類號 | 446.84 |
關鍵詞 | 接觸式探針; 表面粗糙度量測; Stylus tip reconstruction; Contact stylus; Surface roughness; Metrology; |
語 文 | 英文(English) |