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題 名 | Electrical Characteristics Analysis with 3-D Simulation on FinFET=以三維電腦模擬分析鰭形場效電晶體之電性 |
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作 者 | 陳聰敏; | 書刊名 | 吳鳳學報 |
卷 期 | 18 2010.12[民99.12] |
頁 次 | 頁163-173 |
分類號 | 448.552 |
關鍵詞 | 鰭形場效電晶體; 飽和門檻電壓; 短通道效應; 汲極引發能障降低; 次臨界導通斜率; 電流開-關比; FinFET; V□; Short channel effects; Drain induced barrier lowing; Subthreshold swing; On-to-off current ratio; |
語 文 | 英文(English) |