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題名 | 低溫多晶矽膜之凝固速率研究=Solidification Velocity in Low-temperature Polycrystalline Silicon Films |
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作者 | 郭啟全; Kuo, C. C.; |
期刊 | 工業材料 |
出版日期 | 20090200 |
卷期 | 266 2009.02[民98.02] |
頁次 | 頁146-161 |
分類號 | 448.552 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 凝固速率; 準分子雷射退火; 多晶矽膜; Solidificaiton velocity; Excimer laser annealing; Polycrystalline silicon thin films; Poly-Si thin films; |