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來源資料
機電整合
122 2008.10[民97.10]
頁175-187
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題名
運用光學檢測技術於矽膜再結晶特性研究
作者
郭啟全
;
書刊名
機電整合
卷期
122 2008.10[民97.10]
頁次
頁175-187
分類號
448.552
關鍵詞
光學檢測技術
;
矽膜
;
再結晶特性
;
準分子雷射退火
;
語文
中文(Chinese)
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