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題 名 | 電磁場影響電漿成膜製程模擬之電漿粒子式模擬方法與應用=Particle-in-Cell Plasma Simulation Method and Application |
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作 者 | 藍永強; | 書刊名 | 工業材料 |
卷 期 | 232 民95.04 |
頁 次 | 頁99-106 |
專 輯 | 高密度電漿鍍膜技術專題 |
分類號 | 448.5 |
關鍵詞 | 集體的運動行為; 粒子式有限差分時域; 空間電荷場; 雙載子; Collective behavior; Particle-in-cell finite-difference time-domain; Space charge field; Ambipolar; |
語 文 | 中文(Chinese) |