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題 名 | Process Study of Micro-Drilling Polyimide Using Excimer Laser Ablation=以準分子雷射進行微鑽孔於聚亞醯胺之研究 |
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作 者 | 徐瑞芳; 楊錫杭; 翁豊在; | 書刊名 | 中國機械工程學刊 |
卷 期 | 26:6 民94.12 |
頁 次 | 頁717-721 |
分類號 | 336.9 |
關鍵詞 | 微鑽孔; 準分子雷射; 聚亞醯酸; Micro-drilling; PI machining; Excimer laser ablation; Micromachining; |
語 文 | 英文(English) |