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題名 | 高分子材料之準分子雷射加工技術研究= |
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作者 | 馬廣仁; 趙崇禮; 陳誼鴻; 陳盈同; 王述宜; 魏茂國; |
期刊 | 機械工業 |
出版日期 | 19990800 |
卷期 | 197 1999.08[民88.08] |
頁次 | 頁129-134 |
分類號 | 336.9 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 準分子雷射; 微加工; 高分子; 蝕刻率; 鑽孔; Excimer laser; Micromachining; Polymer; Ablation rate; Drilling; |
中文摘要 | 本研究以KrF(248 nm)及ArF(193 nm)準分子雷射對Pl及PC有機高分子材料進行 剝蝕,並藉由OM、SEM、AFM及微拉曼光譜等分析設備,對材料進行顯微組織觀察、成份及結 構分析;進而探討準分子雷射的脈衝重複頻率、脈衝能量密度及脈衝數等參數對材料加工特性 的影響,以期運用於Laser LIGA之製程中。實驗結果顯示,準分子雷射的脈衝數、脈衝能量 及脈衝重複頻率的增加均有利於較高的蝕刻率,但將造成不良的熱效應;此外,太低的脈衝重 複頻率將使受熱影響的分子有足夠的時間冷卻穩定下來,因此不利於下個脈衝繼續分解材 料,而當脈衝重複頻率高時,有利於熱的累積;並且當脈衝重複頻率增加,蝕坑內表面粗糙度 Ra及Rq亦隨之增加。適當的控制製程參數可獲得高深寬比、高精度的產品。相信本研究所 建立之加工參數可對我國相關產業在準分子雷射加工製程上有所助益。 |
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