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題 名 | 運用準分子雷射微加工技術製作微透鏡 |
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作 者 | 林暉雄; 黃榮錫; | 書刊名 | 科儀新知 |
卷 期 | 19:6=104 1998.06[民87.06] |
頁 次 | 頁77-85 |
分類號 | 448.59 |
關鍵詞 | 準分子雷射微加工; 微透鏡; |
語 文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 利用準分子雷射微加工刻除法,研究一種製作微透鏡陣列的新穎技術。方法是使 用KrF、波長248 nm之深紫外準分子雷射,透過一片含有數種圖樣之鍍鉻光罩,經由物鏡以 投影方式在高分子聚合物基材上進行微加工刻除。經由程式控制,調整適當的雷射功率,一 次的脈衝雷射可以刻除完成一個完整的微透鏡陣列圖形,不同之加工深度則由控制多次脈衝 來進行;同時,透過快速移動光罩之平台,選擇不同之光罩圖樣來完成多階之微透鏡陣列元 件。目前已經成功地完成八階繞射微透鏡陣列之製作,其加工表面之平均粗糙度達30 nm, 繞射焦距與光束聚焦品質皆有良好的品質。 |
本系統中英文摘要資訊取自各篇刊載內容。