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來源資料
機械工業
233 2002.08[民91.08]
頁168-177
電機工程
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電燈廠
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題名
微透鏡陣列製程技術之發展現況與應用
作者
劉明岳
;
潘昆志
;
穆傳康
;
蔡居恕
;
黃珩春
;
楊詔中
;
書刊名
機械工業
卷期
233 2002.08[民91.08]
頁次
頁168-177
專輯
微機電技術專輯
分類號
448.57
關鍵詞
微機電系統
;
微透鏡
;
光刻鑄模
;
MEMS
;
Micro lens
;
LIGA
;
語文
中文(Chinese)
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