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題名 | Excimer Laser Induced Formation of Metallic Microstructures by Electroless Copper Plating=準分子雷射誘發無電電鍍銅之微金屬結構成形 |
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作者 | 楊錫杭; 潘正堂; | 書刊名 | 興大工程學刊 |
卷期 | 12:3 2001.11[民90.11] |
頁次 | 頁189-196 |
分類號 | 448.57 |
關鍵詞 | 準分子雷射加工; 無電電鍍銅; 微成形; Excimer laser ablation; Electroless copper plating; Microforming; |
語文 | 英文(English) |