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| 題 名 | 微光柵製程及系統應用技術簡述 |
|---|---|
| 作 者 | 陳奇夆; 姚柏宏; 鄭瑞庭; 廖英彥; | 書刊名 | 機械工業 |
| 卷 期 | 221 2001.08[民90.08] |
| 頁 次 | 頁118-127 |
| 專 輯 | 奈米工程及微機電系統技術專輯 |
| 分類號 | 448.57 |
| 關鍵詞 | 微光學; 微光柵; 準分子雷射加工; 超精密機械加工; Micro-optics; Micro-grating; Excimer laser machining; Ultra-precision machining; |
| 語 文 | 中文(Chinese) |