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題名 | 晶片上的微光學板微機械自由空間積體光學=Micromachined Free-Space Integrated Optics-Micro-Optical Bench on a Chip |
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編 次 | 上 |
作者姓名(中文) | 吳明強; 藍宇彬; 許根玉; | 書刊名 | 光訊 |
卷期 | 65 1997.04[民86.04] |
頁次 | 頁1-4 |
專輯 | 光電材料與元件 |
分類號 | 448.59 |
關鍵詞 | 自由空間微光學板; FS-MOB; |
語文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 新近提出並展示了一項新的技術,稱之為自由空間微光學板(Free-space micro- optical bench, Fs-Mob)。它是利用整批的製程技術,將自由空間中光學元件、微置器,和 微動器整合製作在單一半導體晶片上。由於光子是平行於 Fs-MOB 的低板而傳播,因此可以 把整個微光學系統整合在單一晶片上。 許多數垂直底板而立的三維微光學元件, 包括微 Fresnel 透鏡、折射式微透鏡、鏡子、分光鏡、光柵、及濾波器,皆已被證實可用表面微機 械技術製造。平移座及旋轉座也可以使用相同的製程技術與光學元件整合在一起。我們也製 作及展示奈米精度的積體微動器這些光學及光機械元件皆可在光罩設計期間預先對準,我們 也報告利用此種技術製作的光碟讀寫頭原型製品。 Fs-MOB 技術可以大大地減少光學系統的 體積、質量、和製作成本,它可以應用在光連線、開關、掃描、資料儲存、印刷、及顯示系 統上。 |
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