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題 名 | 非金屬基板異質磊晶鑽石膜製程技術現況=A Review of Heteroepitaxial Diamond Growth on Non-metal Substrates |
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作 者 | 張延瑜; 謝丞聿; | 書刊名 | 機械工業 |
卷 期 | 257 2004.08[民93.08] |
頁 次 | 頁102-110 |
專 輯 | 微機電技術專輯 |
分類號 | 448.552 |
關鍵詞 | 鑽石膜; 化學氣相沉積; 異質磊晶成長; 高優選性; 偏壓輔助成核; Diamond film; Chemical vapor deposition; CVD; Heteroepitaxial growth; High-orientated; Bias enhanced nucleation; BEN; |
語 文 | 中文(Chinese) |