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題 名 | 偏壓輔助成核對多晶CVD鑽石成長之影響=The Effects of Bias-Enhanced Nucleation (BEN) on the Growth of Polycrystalline CVD Diamond Films |
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作 者 | 李世鴻; 焦繼葳; | 書刊名 | 科學與工程技術期刊 |
卷 期 | 3:1 2007.03[民96.03] |
頁 次 | 頁1-8 |
分類號 | 440.34 |
關鍵詞 | 偏壓輔助成核; 微波輔助化學氣相沉積; 多晶鑽石; Bias-enhanced nucleation; BEN; Microwave-assisted chemical-vapor deposition; MACVD; Polycrystalline diamond; |
語 文 | 中文(Chinese) |