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| 題 名 | 矽酸鉿與矽酸鋯薄膜的原子層沉積 |
|---|---|
| 作 者 | Vainonen-Ahlgren,E.; Tois,E.; Ahlgren,T.; Khriachtchev,L.; Marles,J.; Haukka,S.; Tuominen,M.; | 書刊名 | 電子月刊 |
| 卷 期 | 10:3=104 2004.03[民93.03] |
| 頁 次 | 頁126-130 |
| 專 輯 | 半導體製程設備專輯 |
| 分類號 | 448.5 |
| 關鍵詞 | 原子層沉積; 薄膜; Atomic layer deposition; ALD; |
| 語 文 | 中文(Chinese) |