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來源資料
真空科技
20:2-4 2008.02[民97.02]
頁6-12
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題 名
原子層沉積技術於矽晶太陽能電池上之應用
作 者
廖宏昌
;
蔡曄
;
陳敏璋
;
何雅蘭
;
徐文慶
;
書刊名
真空科技
卷 期
20:2-4 2008.02[民97.02]
頁 次
頁6-12
分類號
448.552
關鍵詞
原子層沉積
;
矽晶太陽能電池
;
氧化鋁薄膜
;
表面鈍化層
;
氧化鋅摻雜鋁薄膜
;
ALD
;
AZO
;
語 文
中文(Chinese)
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