您的瀏覽器不支援或未開啟JavaScript功能,將無法正常使用本系統,請開啟瀏覽器JavaScript功能,以利系統順利執行。
返回
/NclService/
快速連結
跳到主要內容
:::
首頁
關於本站
網站導覽
聯絡我們
國家圖書館
English
開啟查詢結果分析
查詢資訊
期刊論文索引(找篇目)
期刊指南(找期刊)
近代 (1853-1979年) 港澳華文期刊索引
漢學中心典藏大陸期刊論文索引
中國文化研究論文目錄
期刊瀏覽
檢索歷程
期刊授權
出版機構
公佈欄
常見問題
軟體工具下載
:::
首頁
>
查詢資訊
>
期刊論文索引查詢
>
詳目列表
查詢結果分析
來源資料
電子月刊
13:3=140 2007.03[民96.03]
頁144-158
相關文獻
原子層沉積技術及其應用
原子層沉積系統設計與製作實務
ALD設備與產業展望
陣列式電容耦合電漿輔助原子層沉積系統
原子層沉積技術之發展與應用
奈米國家型計畫「ALD於氣體擴散層製備晶粒<2nm觸媒應用於高效能燃料電池」計畫執行簡介
原子層沉積製程技術於能源材料之應用
原子層沉積技術簡介
當助聽器不足時--輔助性聽覺裝置
利用GPC與MALDI結合技術測定改質環氧樹脂之重量平均分子量及其分佈
頁籤選單縮合
基本資料
引用格式
國圖館藏目錄
全國期刊聯合目錄
勘誤回報
我要授權
匯出書目
題名
原子層沉積技術及其應用
作者姓名(中文)
鄭錫恩
;
李文仁
;
書刊名
電子月刊
卷期
13:3=140 2007.03[民96.03]
頁次
頁144-158
專輯
半導體製程設備專輯
分類號
448.552
關鍵詞
原子層沉積技術
;
薄膜成長
;
Atomic layer deposited
;
ALD
;
語文
中文(Chinese)
頁籤選單縮合
推文
引用網址
引用嵌入語法
Line
FB
Google bookmarks
本文的引用網址:
複製引用網址
本文的引用網址:
複製引用網址