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題名 | 掃描電容顯微鏡之微分電容訊號影響變因研究 |
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作 者 | 張茂男; 萬文武; 陳志遠; 賴建宏; 梁正宏; 潘扶民; | 書刊名 | 奈米通訊 |
卷期 | 10:2 2003.05[民92.05] |
頁次 | 頁17-24 |
分類號 | 471.713 |
關鍵詞 | 掃描電容顯微鏡; 試片製備; 調制電壓; 探針; 光擾; Scanning capacitance microscopy; SCM; Sample preparation; Modulation bias; Probe tip; Photo-perturbation; |
語文 | 中文(Chinese) |