頁籤選單縮合
題名 | 掃描電容顯微鏡之微分電容訊號影響變因研究= |
---|---|
作者 | 張茂男; 萬文武; 陳志遠; 賴建宏; 梁正宏; 潘扶民; |
期刊 | 奈米通訊 |
出版日期 | 200305 |
卷期 | 10:2 2003.05[民92.05] |
頁次 | 頁17-24 |
分類號 | 471.713 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 掃描電容顯微鏡; 試片製備; 調制電壓; 探針; 光擾; Scanning capacitance microscopy; SCM; Sample preparation; Modulation bias; Probe tip; Photo-perturbation; |