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題名 | 低光擾掃描電容顯微術在電性接面分析之應用 |
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作者姓名(中文) | 張茂男; 陳志遠; 萬文武; 梁正宏; | 書刊名 | 奈米通訊 |
卷期 | 11:2 2004.05[民93.05] |
頁次 | 頁13-19 |
分類號 | 471.713 |
關鍵詞 | 光擾; 掃描電容顯微鏡; 熱處理; 離子佈植; Scanning capacitance microscopy; SCM; Thermal treatment; Ion implantation; Photoperturbation; |
語文 | 中文(Chinese) |