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電子月刊
11:7=120 民94.07
頁137-143
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題名
前翼懸臂導電探針於掃描電容顯微鏡之應用--以探討觀點提供光夏問題的解決方案
作者姓名(中文)
張茂男
;
陳志遠
;
書刊名
電子月刊
卷期
11:7=120 民94.07
頁次
頁137-143
專輯
半導體測試專輯
分類號
471.713
關鍵詞
前翼懸臂導電探針
;
掃描電容顯微鏡
;
光擾效應
;
SCM
;
語文
中文(Chinese)
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