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| 題 名 | 低光擾掃描電容顯微術在電性接面分析之應用=Characterization of Electrical Junctions by Low-photoperturbed Scanning Capacitance Microscopy |
|---|---|
| 作 者 | 張茂男; 陳志遠; 萬文武; 梁正宏; | 書刊名 | 真空科技 |
| 卷 期 | 17:4 2004.12[民93.12] |
| 頁 次 | 頁51-59 |
| 分類號 | 448.552 |
| 關鍵詞 | 掃描電容顯微鏡; 熱處理; 離子佈植; 光擾; Scanning capacitance microscopy; SCM; Thermal treatment; Ion implantation; Photoperturbation; |
| 語 文 | 中文(Chinese) |