頁籤選單縮合
題名 | 低光擾掃描電容顯微術在電性接面分析之應用=Characterization of Electrical Junctions by Low-photoperturbed Scanning Capacitance Microscopy |
---|---|
作者姓名(中文) | 張茂男; 陳志遠; 萬文武; 梁正宏; | 書刊名 | 真空科技 |
卷期 | 17:4 2004.12[民93.12] |
頁次 | 頁51-59 |
分類號 | 448.552 |
關鍵詞 | 掃描電容顯微鏡; 熱處理; 離子佈植; 光擾; Scanning capacitance microscopy; SCM; Thermal treatment; Ion implantation; Photoperturbation; |
語文 | 中文(Chinese) |