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來源資料
國科會國家毫微米元件實驗室通訊
7:3 2000.08[民89.08]
頁26-30
電機工程
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電燈廠
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題 名
掃描電容顯微鏡技術簡介
作 者
張茂男
;
潘扶民
;
張子云
;
吳柏偉
;
書刊名
國科會國家毫微米元件實驗室通訊
卷 期
7:3 2000.08[民89.08]
頁 次
頁26-30
分類號
448.57
關鍵詞
掃描電容顯微鏡
;
掃描探針顯微鏡
;
Scanning probe microscopy
;
SPM
;
語 文
中文(Chinese)
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