查詢結果分析
相關文獻
- 掃描穿隧顯微鏡於矽單晶上奈米尺寸氧化加工之條件研究
- 掃描電容顯微鏡分析技術及其在矽晶圓表面分析之應用
- 掃描穿隧顯微鏡研究有機分子(Co-TPP)在鉛/矽(111)表面的自組裝行為
- 利用掃描探針顯微術觀測碳簇分子嵌入矽(111)表面的特性
- 奈米工具:掃描探針顯微設備
- 觀察矽化鉑在矽(111)表面上的形貌
- 染料分離、純化的應用技術
- Direct Simulation Monte Carlo of Monosilane Low Pressure Chemical Vapor Deposition
- 半導體工業用矽化氫(Silane)之物性及事故案例
- 應用正交參數設計法備製非晶形矽氫沈積速率之最佳化研究
頁籤選單縮合
題名 | 掃描穿隧顯微鏡於矽單晶上奈米尺寸氧化加工之條件研究 |
---|---|
作者姓名(中文) | 曾坤賜; 謝宗雍; 羅士哲; 林錫甫; | 書刊名 | 機械工業 |
卷期 | 197 1999.08[民88.08] |
頁次 | 頁105-109 |
專輯 | 奈米工程暨微機電系統技術專輯 |
分類號 | 448.552 |
關鍵詞 | 掃描探針顯微鏡; 掃描穿隧顯微鏡; 電氣化; 矽; Scanning probe microscope; Scanning tunneling microscope; Electrical oxidation; Silicon; |
語文 | 中文(Chinese) |