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來源資料
機械工業
233 2002.08[民91.08]
頁103-110
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題 名
砷化鎵晶圓製程技術與應用
作 者
賴文郎
;
謝榮哲
;
吳明章
;
周志豪
;
書刊名
機械工業
卷 期
233 2002.08[民91.08]
頁 次
頁103-110
專 輯
微機電技術專輯
分類號
448.552
關鍵詞
砷化鎵晶圓
;
輪磨
;
拋光
;
GaAs wafer
;
Grinding
;
Polishing
;
語 文
中文(Chinese)
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