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題 名 | 高潔淨閥件之流道表面處理--電解拋光(EP)技術 |
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作 者 | 陳裕豐; | 書刊名 | 機械工業 |
卷 期 | 198 1999.09[民88.09] |
頁 次 | 頁230-240 |
專 輯 | 半導體設備技術專輯 |
分類號 | 448.552 |
關鍵詞 | 半導體設備; 電解拋光; 鈍化層; 高潔淨; 表面處理; Semiconductor equipment; Electropolish; Passivation layer; High purity; Surface treatment; |
語 文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 電解拋光(EP)是金屬工件的一種高潔淨化表面處理技術,應用於半導 體設備之控制閥內流道、廠務配管流道、反應腔壁等之表面處理,應用之處極 多且廣。本文針對EP的鈍化、潔淨、拋光三個特性,從EP的原理、特色、V – I關係介紹起,進入EP製程如前處理除油除鏽、EP操作、後處理化學洗、潔 淨等,探討常見EP製程失敗原因,EP完工後半導體級之檢驗項目,最後論述 發展現況。 |
本系統中英文摘要資訊取自各篇刊載內容。