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題 名 | 主動控制在精密機械隔振的應用 |
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作 者 | 鐘裕亮; | 書刊名 | 機械工業 |
卷 期 | 195 1999.06[民88.06] |
頁 次 | 頁171-177 |
專 輯 | 精密機械技術專輯 |
分類號 | 446.014 |
關鍵詞 | 主動隔振; 振動控制; 半導體設備隔振; Active isolation; Vibration control; Semiconductor equipment vibration isolation; |
語 文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 隨著高科技產業的進步,目前各高科技產品的 加工製造均已進入細微化與超精密化,而其加工製 程中,對環境振動之要求益趨嚴苛,半導體業加工 從1995年0.35微米製程進展到目前1999年的0.18微 米製程,其對振動規格的要求,足足提高了一倍, 未來更將以此趨勢發展下法。 在無法完全除去各項環境振源時,振動控制技 術便成為最佳解決之道,振動控制技術可分為主動 式與被動式兩種,被動隔振技術對隔離高頻振動之 效果較好,在傳統被動隔振材料無法有效抑制低頻 環境振動時,而主動隔振技術則為隔離低頻振動之 唯一手段。 本文簡介主動隔振的發展歷史與現況,並探討 主動隔振之原理與特性,建立讀者對主動隔振控制 之基本概念。 |
本系統中英文摘要資訊取自各篇刊載內容。