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題名 | 精密機械之高剛性抗振基座設計 |
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作者 | 簡明溫; | 書刊名 | 機械工業 |
卷期 | 207 2000.06[民89.06] |
頁次 | 頁152-159 |
專輯 | 精密機械技術專輯 |
分類號 | 446.19 |
關鍵詞 | 高剛性抗振基座; 有限元素分析; 傳輸比; 半導體設備隔振; High stiffness vibration control pedestal; Finite element analysis; Transmissibility; Semiconductor equipment vibration isolation; |
語文 | 中文(Chinese) |