查詢結果分析
來源資料
頁籤選單縮合
| 題 名 | 精密機械之高剛性抗振基座設計 |
|---|---|
| 作 者 | 簡明溫; | 書刊名 | 機械工業 |
| 卷 期 | 207 2000.06[民89.06] |
| 頁 次 | 頁152-159 |
| 專 輯 | 精密機械技術專輯 |
| 分類號 | 446.19 |
| 關鍵詞 | 高剛性抗振基座; 有限元素分析; 傳輸比; 半導體設備隔振; High stiffness vibration control pedestal; Finite element analysis; Transmissibility; Semiconductor equipment vibration isolation; |
| 語 文 | 中文(Chinese) |