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題名 | 鑽石輪磨及機械化學拋光複合製程應用於藍寶石晶圓薄化加工 |
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作者姓名(中文) | 許厲生; 古振瑭; 陳炤彰; 黃姿瑞; 柳南煌; 謝榮哲; | 書刊名 | 機械工業 |
卷期 | 254 2004.05[民93.05] |
頁次 | 頁107-115 |
專輯 | 輪磨與精密製造技術專輯 |
分類號 | 446.895 |
關鍵詞 | 發光二極體; 藍寶石晶圓; 鑽石輪磨; 機械化學拋光; Light emitting diode; LED; Sapphire wafer; Diamond grinding; Mechano-chemical polishing; MCP; |
語文 | 中文(Chinese) |