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來源資料
機械工程
216 1997.04[民86.04]
頁82-87
機械工程
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磨研機
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題 名
矽晶圓之超精密輪磨及機化學拋光技術
作 者
邱能信
;
書刊名
機械工程
卷 期
216 1997.04[民86.04]
頁 次
頁82-87
分類號
446.895
關鍵詞
矽晶圓
;
輪磨
;
機化學拋光技術
;
語 文
中文(Chinese)
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